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光刻机蔡司镜头的精度
发布网友
发布时间:2022-12-23 04:16
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热心网友
时间:2023-08-04 07:51
峰谷值0.12纳米。光刻机蔡司镜头的精度为峰谷值0.12纳米,因为只有达到峰谷值0.12纳米的要求,才能制造出合格的蔡司镜头。光刻机(lithography)又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备。
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