椭偏仪测折射率和薄膜厚度
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发布时间：2023-04-09 17:22
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时间：2024-09-29 22:05
椭偏仪测折射率和薄膜厚度：通常表示设介质层为入射角的度数和折射范围的厚度。
椭圆偏振光在样品表面反射后，偏振状态会发生变化，利用这一特性可以测量固体上介质薄膜的厚度和折射率。
它具有测量范围宽：厚度可从10-10~10-6m量级、精度高可达百分之几单原子层、非破坏性、应用范围广：金属、半导体、绝缘体、超导体等固体薄膜等特点。目前商品化的全自动椭圆偏振光谱仪，利用动态光度法跟踪入射光波长和入射角改变时反射角和偏振状态的变化。
