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什么是半导体制造工艺中的深槽隔离技术

发布网友 发布时间:2022-07-26 08:03

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热心网友 时间:2023-10-18 16:01

现在用深槽隔离了吗?浅槽隔离技术是STI,是指隔离有源区的一个槽,用多晶硅填起来,深槽隔离是不是槽做的更深啊,没听过。
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