发布网友 发布时间:2022-03-31 18:21
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热心网友 时间:2022-03-31 19:50
微电子技术是以集成电路技术为代表,制造和使用微小型电子元件、器件和电路,实现电子系统功能的新型技术学科,它也特指大规模集成电路的制造和运用技术。
微电子技术与传统电子技术相比,其主要特征是器件和电路的微小型化。它把电路系统的设计和制造工艺紧密结合起来,适于进行大规模的批量生产,因而成本低和可靠性高。超微细加工技术的日益完善,使生产上达到亚微米以至更高的光刻水平,其集成度已超越每片10~10个元件。高质量的超薄氧化层、新的离子注入退火技术、高电导高熔点金属及其硅化物金属化和浅欧姆接触、晶体完整性好的大直径芯片、低温加工等一系列工艺技术的迅速进展,将使微电子器件及其集成电路性能获得更大改善。如果没有微电子技术,今天的微型计算机、卫星通信、机器人都是不可想象的。在21世纪,微电子技术是改变生产和生活面貌的先导技术。