化学气相沉积法制备二氧化钒的优点

发布网友发布时间：2022-12-10 18:56

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热心网友时间：2023-09-17 21:40

化学气相沉积法制备二氧化钒的优点很多，比如有溶液清澈，不存在沉积视线阴影,可以对复杂的三维工件进行沉积镀膜。
具有高的沉积速度,并可获得厚的涂层，大于99.9%之高密度镀层,有良好的真空密封性，沉积的涂层对底材具有良好的性能。

热心网友时间：2023-09-17 21:41

优点:(1)不存在沉积视线阴影,可以对复杂的三维工件进行沉积镀膜。(2) 具有高的沉积速度,并可获得厚的涂层(有时厚度可达厘米级);(3)大于99.9%之高密度镀层,有良好的真空密封性;(4)沉积的涂层对底材具有良好的附着性;(5)可在相当低的温度下镀上高熔点材料镀层;(6)可控制晶粒大小与微结构(7)CVD设备通常比PVD简单、经济。缺点:(1)反应需要挥发性化合物,不适用于一般可电镀的金属,因其缺少适合的反应物,如:锡、锌、金;(2)需可形成稳定固体化合物的化学反应,如:硼化物、氮化物及硅化物等;(3)因有剧毒物质的释放,腐蚀性的废气及沉积反应需适当控制,需要封闭系统;(4)某些反应物价格昂贵;(5)反应物的使用率低,反应常受到沉积反应平衡常数的*。