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晶圆片为什么是圆的?

发布网友 发布时间:2022-06-23 05:07

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3个回答

热心网友 时间:2024-11-29 15:24

晶圆片的由来,是先将二氧化矽经过纯化,融解,蒸馏之后,制成矽晶棒,晶圆厂再拿这些矽晶棒研磨,抛光和切片成为晶圆母片;由於圆形的晶圆片本身没有方向性,不适合电子的传输,因此这些晶圆还必须切出一个边,当做类似三角形的「底」,所以晶圆长得并不像家里的DVD是标准的圆,而是被切掉一个边,成为有「底」的圆

热心网友 时间:2024-11-29 15:24

因为叫晶圆片,不是叫做晶方片.

热心网友 时间:2024-11-29 15:25

之所以晶圆都做成圆形,主要的是考虑单位面积利用率和生产问题.。

硅锭被"拉"出来的时候就一定是圆的。几乎不可能直接获得方的硅锭,除非将圆的硅锭切削成方的,但这样无异于浪费。正方形浪费的使用面积比率是比圆型高的。很多晶圆生产设备的工艺原理必然要求选择圆型晶圆,圆型具有任意轴对称性,这是晶圆制作工艺必然的要求,可以想象一下,在圆型晶圆表面可以通过旋转涂布法事实上是目前均匀涂布光刻胶的唯一方法,获得很均匀一致的光刻胶涂层。
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