电容传感器的分辨率能到纳米级么?

发布网友发布时间：2022-09-15 03:13

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热心网友时间：2023-10-04 09:40

电容传感器的分辨率分静态测量和动态测量，同时与测量范围有关。以德国米铱capaNCDT6500系列为例，静态分辨率可以达到0.0375纳米，动态分辨率可以达到1个纳米。具体可以参考www.micro-epsilon.com.cn, 有具体型号和介绍。

热心网友时间：2023-10-04 09:40

可以的，ZNXsensor双极性电容传感器的最高分辨率0.001nm。

热心网友时间：2023-10-04 09:41

ZNXsensor 电容传感器是一种非接触式的电容位移传感器。其优势为纳米分辨率、零磁滞。
ZNXsensor 电容传感器的两个传感器板形成一个平行板电容器。每个电容传感器可用在两个不用的测量范围。

电容式位移传感器是通过改变电容两极板间的电荷实现测量的。常用的方法有三种：变极板间距离的变极距型；改变极板面积的变面积型；还有就是改变介质介电常数的变介质型。现在所介绍的是变极距型的电容式位移传感器。

电容式位移传感器应用领域：
压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。

ZNXsensor 电容传感器应用领域：
压电微位移、振动台，电子显微镜微调，
天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。

ZNXsensor 电容传感器主要特点：
线性最高0.02%；
频带可调：50～5000Hz；灵敏度可调；
量程20～1250μm；
分辨率<0.1nm；零磁滞；
真空兼容选项；