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MEMS技术在仪器仪表中的现状及前景

发布网友 发布时间:2022-08-23 13:24

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热心网友 时间:2024-03-16 04:39

MEMS是目前比较热门的一项技术,即微机械加工系统,现在很有发展前景的一类产品——MEMS传感器就和仪器仪表行业相关,我所了解的航天系统有几个所在做这种器件,MEMS传感器不仅会在仪器仪表行业展露头角,更是未来物联网发展的必要支撑。MEMS包括光刻、镀膜、氧化等工艺,在半导体行业已经运用的非常纯熟,将其引进到仪器仪表行业,会极大地促进该行业的发展。关于MEMS的书籍很多,楼主可以看看,我喜欢看一些网站,如新材料在线(xincailiao.com)等,有新兴技术和材料的最新科研进展,可以学到很多知识。
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