低温等离子体与等离子体有什么区别?
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发布时间：2022-08-17 15:31
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时间：2023-10-12 17:51
化学气相沉积
刻蚀，清洗
表面改性
冷光源
等离子体是物质存在的第四态，比气态能量更高,等离子体是良导体，受磁场影响。
微波是等离子体产生的方法之一，微波等离子体无电极、大体积、运行气压宽、低能耗、高效率和低成本等优点，其等离子体发生室和处理室可分合，工艺灵活。微波等离子体具有其他等离子体难以比拟的优势和特点。
等离子体比其他工艺有更高的温度和能量密度,能够产生活性成分，引发常规条件下不能或难以实现的物理和化学反应。
等离子体工艺优点：
干式洁净工艺
满足无尘室等苛刻条件
使用方便灵活，工艺简单
对各种形状的零件有明显处理效果
工艺条件完全可控
成本低，效果好，时间短。
资料来自：www.uniplasma.com
