发布网友 发布时间:2022-09-14 04:45
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热心网友 时间:2024-12-14 11:15
由于曝光束不同,刻蚀技术可以分为光刻蚀(简称光刻)、X射线刻蚀、电子束刻蚀和离子束刻蚀,其中离子束刻蚀具有分辨率高和感光速度快的优点,是正在开发中的新型技术。