解释一下化学气相沉积法制备纳米材料

发布网友发布时间：2022-04-29 01:13

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热心网友时间：2022-06-27 06:54

化学气相沉积可以分为有基底沉积和无基底沉积。
有基底沉积又分为催化沉积和无催化沉积；
催化沉积往往用于区域选择性沉积或特定形貌纳米材料的沉积；
无催化沉积常用于制作各种膜材料；
无基底沉积往往利用气相分解，可以得到各种纳米粉体，使用相对较少。

热心网友时间：2022-06-27 06:55

化学气相凝聚法（CVC）和燃烧火焰- 化学气相凝聚法（CFCVC）利用高纯惰性气体作为载气，携带金属有机前体，进入炉温为1100～1400℃钼丝炉，保持100～1000Pa 的低压状态，在此环境下，原料热解形成团簇，进而凝聚成纳米粒子。
气相法主要分为蒸发凝聚法和气相化学反应法。
(1) 蒸发凝聚法　将原料在惰性气体中高温加热,使其蒸发,然后在气体介质中冷凝而形成超微粒子。通过调节蒸发温度、气体种类和压力来控制颗粒的大小,一般制得颗粒的粒径为10nm左右。
(2) 气相反应法　在金属化合物蒸发中,通过化学反应来合成超微粒子。该方法包括化学火焰法、等离子体法和激光法,采用的原料通常是容易制备、蒸气压高、反应性较好的金属氯化物、氧氯化物、金属醇盐、烃化物和羰基化合物等。该法的优点是设备简单,容易控制,颗粒纯度高,粒径分布窄,能连续稳定生产,而且能量消耗少。