发布网友 发布时间:2022-04-29 07:20
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热心网友 时间:2022-06-21 02:13
根据化学反应的不同,可分为三类。
光交联型高分子
在光照下,分子链间能发生交联偶合反应的感光性高分子。
这类感光材料已在国内外广泛应用于集成电路制造等。这类反应的典型代表是聚乙烯醇肉桂酸酯,它可溶于丙酮、丁酮、乙酸乙酯等有机溶剂。在紫外光照射下,分子间发生交联反应,生成的交联产物不溶于有机溶剂。当用适当溶剂(显影液)冲洗时,未感光部分被冲洗下来,感光部分因不溶解而保留下来,结果得到与底片相反的图像(负图象)。这类光刻涂层材料称负性光刻胶。
光分解型高分子
在光照下侧链上的有机化合物发生分解的一类高分子。
典型代表是邻重氮醌。邻重氮醌不溶于稀碱液,经光照后放出氮气变成烯酮,水解后可生成羧基,从而使高分子溶于稀碱中,正性光刻胶就属于这一类。受光照的部分溶于显影液(稀碱液),而未受光照部分则保持不变,显出图像,称为正图像。
正负性光刻胶可以用于制造集成电路、照相底片、印刷、激光光盘等很多方面。
光致变色高分子
这类分子在光照后化学结构发生变化,结构变化前后对可见光的吸收波长不同,因此光照能发生颜色变化,停止光照后又恢复原来的颜色。这种用不同波长光照射能显示出不同颜色的高分子,称光致变色高分子。利用这类感光高分子材料可制备各种光色太阳镜、电焊镜、护目镜、各种窗玻璃、军事用伪装材料以及密写信息材料等。