微电子机械系统的发展历程2

发布网友发布时间：2023-10-08 18:43

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热心网友时间：2024-11-17 16:17

有关微机械系统的历史，最早可以追溯到1959年12月，美国物理学家诺贝尔奖获得者R.P.Feynman在美国加州理工学院举行的美国物理协会年度会议上的科普演讲中，首次提出了MEMS概念。
事实上，在Feynman演讲之前科学家们已经成功地研制出指甲盖儿大小的电机，然而Feynman认为，这些研究成果在小型化的道路上还很原始、粗糙，尚处于技术初期阶段。他的结论是，”在这以后还有更加令人震惊的微小世界“，他设想可以将24卷《大英百科全书》写在针尖上，要做到这件事只需要将尺寸缩小到1/25000即可。历史证明了Feynman的卓远见识，纳米科技、MEMS及量子计算和分子自组装等领域向人们展示了微小世界的巨大潜力。
1987年研制出的微型马达的原理来自于该演讲的思想，因此人们普遍认为MEMS研究的时间起点为1959年。
1962年，微小器件的先驱——第一个硅微压力传感器问世，它的特征是用硅膜、压敏电阻和体硅腐蚀。它是MEMS微传感器的起始点，同时也是MEMS体加工（bulk micromachining）的起始点。
1967年，美国西屋研究实验室Nathanson等人报道了硅谐振栅晶体管。它的特征是用静电激励起栅振动，它是MEMS执行器的起始点。
1968年，美国Mallory公司Wallis等人报道了硅玻璃静电键合技术，该技术成为后来微传感器封装的主要技术之一。
1978年，美国IBM的Bassous等人报道了硅微喷嘴。它是MEMS微结构的起点。
1979~1985年，以集成传感器为主要对象的MEMS领域第一次成为热点。各种新型MEMS加工技术接连出现。
1987~1988年间，一系列关于微机械和微动力学的技术会议召开，MEMS一词在这些会议中被广泛采纳并逐渐成为一个世界性的学术用语。目前MEMS研究开发主要集中在微传感器、微执行器和微系统三个方面。