remon plasma clean用哪些气体

发布网友发布时间：2022-05-15 03:41

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热心网友时间：2023-10-08 19:57

plasma等离子清洗设备常见的气体有空气氧气、氩气、氢气、氩氢混合气体、cf4等。在应用plasma等离子清洗设备清理物体前，先剖析清理物件和污染物，然后挑选合适的气体。依据设备基本原理，可选择的气体可分成氢、氧等特异气体，氢主要是用在金属表层化合物的清理。等离子清洗设备的氧气用来清理物件表层的有机化合物，发生氧化效应。另一种是清洗设备中的氩、氦、氮等非反应气体。氮处理可提高材料的硬度和耐磨性。氩和氦气体特性平稳，分子的充放电工作电压低非常容易产生亚稳态分子，一方面，运用其高能粒子的物理学功效来清理易被氧化或还原物件。