发布网友 发布时间:2022-05-13 19:22
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热心网友 时间:2023-10-22 18:28
也称减薄腐蚀,目的是除去切磨后硅片表面的损伤层和沾污层,改善表面质量和提高表面平整度。化学腐蚀法有篮式、桶式、旋转杆式和盒式,采用氢氟酸、*和冰醋酸的混合液从硅片两侧腐蚀掉一定的厚度。